Sensors and Actuators - Fachbereich Physik der Universität ...

6.5.1.2 Bauformen
Schaltung Wärmeverlustverfahren [1]
Schaltung Wärmeverteilungsverfahren [1]
Bauformen [3]
6.5.1.3 Funktionsweisen / Produktvarianten: Beispiel Microbridge Mass Airflow Sensor
Der Microbridge Mass Airflow funktioniert nach dem Prinzip von Wärmetransport
(Wärmeverteilungsverfahren). Die Luft erwärmt sich über dem Heizelement und diese
Erwärmung wird dann beim Sensorelement gemessen. Die gesamte Schaltung besteht aus
einem Chip. Das Bild rechts zeigt dessen Aufbau. Er besteht aus zwei Brücken, die je die Hälfte
des Heizelements und ein Sensorelement enthalten. Durch beidseitige Anordnung der
Sensorelemente, kann der Fluss bidirektional erfasst werden.
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