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Sensors and Actuators - Fachbereich Physik der Universität ...

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Mikromechanische Aktoren - Aktoren in <strong>der</strong> Mikrosystemtechnik<br />

Mikroaktoren werden benötigt, z.B. für<br />

• Mikropumpen (Medikamentendosierung, ...)<br />

• optische Systeme (Nachrichtenübertragung, ...)<br />

• miniaturisierte analytische Geräte (Luftschadstoffmessung, ...)<br />

• Datenspeicher (Schreib-/Leseköpfen, ...)<br />

Quelle: Benecke, <strong>Universität</strong> Bremen<br />

Mikromotoren<br />

Elektromagnetischer Mikromotor (Reluktanzprinzip, Außendurchmesser 2 mm) a) Größenvergleich; b)<br />

Darstellung <strong>der</strong> Komponenten: Rotor, Stator, Mikrokugellager, Hülse, Welle, Distanzring (Werkbild: Institut für<br />

Mikrotechnik (IMM), Mainz) Quelle: D. J. Jendritza, Technischer Einsatz neuer Aktoren; http://www.unibwhamburg.de/EWEB/EMA/Bewegtbil<strong>der</strong>/Reluktanzmotor/reluktanzmotor.html<br />

Konstruktive Elemente –g Beispiel: Mikroabformung<br />

Silizium Urform [ Advanced Silicon Etching (ASE) ] > 100 Abformungen mit Hartmetallpulver<br />

(WC-Co)<br />

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