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Sensors and Actuators - Fachbereich Physik der Universität ...

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7.4.2.1 Typische Kenndaten (Tauch- und Queranker)<br />

Messweg<br />

0,1 .. 10 cm (halbe Baulänge einer Differentialdrossel)<br />

Auflösung<br />

• bis herab zu einigen Nanometern<br />

Neben dreidimensionalen (gewickelten) Spulen<br />

können auch planare Schneckenspulen - z.B. in<br />

Dickfilmtechnik - als induktiver Sensor verwendet<br />

werden. Die Abbildung zeigt eine typische Schnecke,<br />

aus einer Cu-kaschierten Platine geätzt. Rückseitige<br />

Belegung mit einer Ferritplatte würde die Induktivität L<br />

nahezu verdoppeln und als magnetische Abschirmung<br />

dienen. Planare Schneckenspule, geätzt aus<br />

Platinenmaterial (25 µm Cu) Quelle: [1]<br />

• Abweichung von Ideal-Kennlinie (Gerade bzw. Hyperbel: einige % FS)<br />

• Lastspiele: nahezu beliebig<br />

• Einsatztemperatur: -150/+150 °C (+8oo °C)<br />

Charakteristik<br />

Vorteile<br />

• berührungslose Messung (keine Reibung, kein Verschleiß, Messung an bewegten<br />

Objekten möglich)<br />

• magnetische Rückwirkungskraft sehr klein<br />

• keine Beeinträchtigung durch Schmutz, Staub ...<br />

• sehr hohe Auflösung<br />

Nachteile<br />

• Speisung mit Wechsel- einfache Spannung erfor<strong>der</strong>lich Elektronik (5o Hz, 5 kHz<br />

erfor<strong>der</strong>lich<br />

• mäßige Signalleistung<br />

• erhebliche Nichtlinearität<br />

• keine Möglichkeit für maßgeschnei<strong>der</strong>te Kennlinie<br />

• nur für kleine Wege<br />

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