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Sensors and Actuators - Fachbereich Physik der Universität ...

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Druckmessung im Vakuumbereich<br />

Fe<strong>der</strong> - Vakuummeter: Bourdon - Röhre 1 mbar ... 1 bar<br />

Fe<strong>der</strong> – Vakuummeter: Kapselfe<strong>der</strong> - Vakuummeter:<br />

Membr<strong>and</strong>ose (lineare Teilung); Rohr mit elliptischem<br />

o<strong>der</strong> rechteckigem Querschnitt (veraltet!)<br />

Präzisions - Membranvakuummeter<br />

Messbereiche: 1 bar bis 10 mbar auf 10 -4 mbar genau!<br />

Kapselfe<strong>der</strong> - Vakuummeter<br />

Kompressionsvakuummeter nach McLoed: das messende Gas wird in einem<br />

Quecksilbermanometer in einem vorgegebenen Volumen von Quecksilber eingeschlossen<br />

und darin erheblich komprimiert, so dass <strong>der</strong> erzeugte Druck vernünftig messbar ist. Für<br />

Drücke 10 -4 mbar (veraltet, umständlich).<br />

Indirekte Druckmessung<br />

Wärmeleitungs - Vakuummeter (Pirani) 10 -3 ... 1mbar: Heizdraht: mit konstanter Leistung<br />

geheizt<br />

Kühlung durch: Drahttemperatur = Messwert<br />

A: Strahlung und Ableitung zur Drahteinspannung<br />

B: Druckabhängige Wärmeleitung wegen mit dem Druck zunehmen<strong>der</strong> Teilchenzahl<br />

(Stoßprozesse) p·V=n·R·T<br />

C: Konvektion (fast) druckabhängig<br />

Auch zur Messung von Gasgeschwindigkeit im Normaldruckgebiet (bis 5µm Drahtdicke),<br />

auch als flächiger, breittragen<strong>der</strong> Wi<strong>der</strong>st<strong>and</strong>.<br />

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