Sensors and Actuators - Fachbereich Physik der Universität ...

III MST-Vertiefungslabor
An alle Mikrosystemtechnologie (MST)-Studierenden aus den Fachbereichen
Elektrotechnik & Informationstechnik
Maschinenbau & Verfahrenstechnik sowie
Physik
Im Sommersemester 2004 wird wieder das MST-Pflichtpraktikum „Vertiefungslabor
Mikrosystemtechnologie" stattfinden. Es ist für MST-Studierende des 8. Semesters
vorgesehen, kann aber auch von Studierenden des 6. Semesters belegt werden.
Angeboten werden von den drei Fachbereichen insgesamt 12 Versuche, von denen
die Studierenden 9 auswählen müssen. Aus jedem Fachbereich muss mindestens ein
Versuch gewählt werden. Die 12 angebotenen Versuche sind:
• V0l: Optimierung eines MOS-Herstellungsprozesses (EIT, Prof. Tielert)
V02: Simulation der Transistorkennlinien (EIT, Prof. Tielert)
• V03: Layoutentwurf und Schaltungssimulation (EIT, Prof. Tielert)
• V04: Elektronenstrahl-Lithographie (Ph, PD Dr.
Ehresmann)
• V05: Fluidfluss und optische Wellenleitung
in Kapillarkanälen (Ph, Prof. Fouckhardt)
V06: Magnetooptische Datenspeicher-Materialien (Ph, Prof. Hillebrands)
• V07: Mikromontage durch programmierte Roboter (MV, Prof. Zühlke)
• V08: Das Rasterkraftmikroskop (Ph, Prof. Ziegler)
• V09: Optische Verbindungstechnik
(Optische Schnittstellen) (EIT, Prof. Zengerle)
* V IO: Mikrostrukturierung von photonischen Materialien
(QPM-Materialien) (Ph, Prof. Wallenstein)
• V 11: Spanende Herstellung von Mikrostrukturen 1:
Diamantdrehen (MV, Prof. Haberland)
• V12: Spanende Herstellung von Mikrostrukturen 2:
Mikrofräsen (MV, Prof. Haberland)
Am Donnerstag, 29.April 2004, 14.30 Uhr - 16.00 Uhr wird im Raum 46/323 die
Vorbesprechung zu diesem Praktikum durchgeführt, an der alle interessierten
Studierenden und alle Betreuer/innen teilnehmen müssen. In dieser Vorbesprechung
sollen die Interessenten/ innen schon ihre 9 Versuche aus dem angebotenen
Kontingent auswählen.
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