Sensors and Actuators - Fachbereich Physik der Universität ...

Glasfaser-Reflexions-Drucksensoren
Extrinsic fibre-optic pressure sensors contain a flexible membrane covered by reflective
material, which can be deformed under pressure difference. The transmitted light intensity
between the Input and output fibres is modulated by the deformation of the membrane due
to the conic angle changes of the reflected divergent light bundle.
Kapazitive Drucksensoren
Kapazitive Drucksensoren nutzen die druckinduzierte Abstandsänderung einer beweglichen
Elektrode (z.B. Membran) gegen eine feste Gegenelektrode. Diese kapazitiven
Anordnungen lassen sich in verschiedenen Technologien realisieren. Ein seit langem
bewährtes Verfahren basiert auf der Nutzung von metallischen Membranen, die mit Hilfe
von Laser-Schweißverfahren auf Trägerringe aufgeschweißt werden und somit eine
Messzelle bilden. Diese Sensoren werden vielfach als Differentialkondensator mit einer
ölgefüllten Messzelle hergestellt.
Eine weitere Herstellungstechnologie basiert auf einer Keramikmembran, die mittels
Sinterverfahren auf einem Keramiksubstrat aufgebracht ist.
Mit der Möglichkeit der monolithischen Integration der Signalverarbeitung erlangten jedoch
in den vergangenen Jahren kapazitive Siliziumsensoren zunehmende Bedeutung. Die
Vorteile kapazitiver Sensoren liegen im geringen Energieverbrauch, einer hohen
Basisempfindlichkeit sowie der geringen Temperaturabhängigkeit des Ausgangssignals.
Kapazitive Drucksensoren nutzen die Verschiebung einer Membran, piezoresistive
Sensoren die mechanische Spannung.
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