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Sensors and Actuators - Fachbereich Physik der Universität ...

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• erhebliche Temperatur- und Feuchteabhängigkeit.<br />

7.4.2.2 Typische Anwendungsgebiete<br />

Tauchankersysteme als St<strong>and</strong>ardaufnehmer <strong>der</strong> Labortechnik, z.B. für Kfz, in <strong>der</strong><br />

Werkstoffprüfung (Zugversuch), Bauingenieurwesen. Als Wegsensor in Druck- und<br />

Kraftaufnehmern, als Füllst<strong>and</strong>smessgerät weit verbreitet, in <strong>der</strong> Fertigungsautomatisierung,<br />

im CD-Optokopf (Autofocus-Regelkreis). Querankersysteme (magnetisch und<br />

Wirbelstrom) als Endschalter, in <strong>der</strong> Werkstoffprüfung (Schichtdicke, Rissprüfung,<br />

Bestimmung des Flächenwi<strong>der</strong>st<strong>and</strong>es), hochauflösend in Rauhigkeitsmessgeräten.<br />

Eine Son<strong>der</strong>anwendung des induktiven Weg-Sensorkonzepts stellt eine zylindrische<br />

Spiralfe<strong>der</strong> dar: Axiale Belastung streckt diese Fe<strong>der</strong>, steigert somit <strong>der</strong>en<br />

Feldlinienlänge l und reduziert damit die Induktivität. Anwendung in einem<br />

Stoßdämpfer.<br />

7.4.3 Kapazitive Weg- und Winkelsensoren<br />

C=ε<br />

⋅ε<br />

o r<br />

A<br />

d<br />

mit ε0:Elektrische Feldkonstante = µ0·c 2 = 8,8542·10 -12 F·m -1<br />

εr: Dielektrizitätskonstante des Dielektrikums zwischen den Kondensatorplatten<br />

A: Fläche <strong>der</strong> Kondensatorplatten<br />

d: Abst<strong>and</strong> <strong>der</strong> Kondensatorplatten<br />

115<br />

Kapazitive Weg-/Winkelsensoren. In den<br />

Kapazitätswert C eines Kondensators gehen die<br />

Fläche A <strong>der</strong> Platten, <strong>der</strong>en gegenseitiger<br />

Abst<strong>and</strong> l sowie die relative Permittivität εr des im<br />

Feldraum befindlichen Dielektrikums ein. Alle drei<br />

Größen können durch die Messgröße x bzw. φ zu<br />

Sensorzwecken verän<strong>der</strong>t werden. Es ergeben<br />

sich dann die Kennlinien gemäß nebenstehendem<br />

Bild. Da die mit einfachen Kondensatoren<br />

erreichbaren Kapazitätswerte i.A. deutlich unter<br />

100 pF liegen, wird bisweilen auf eine<br />

Stapelbauweise zurückgegriffen.

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