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Sensors and Actuators - Fachbereich Physik der Universität ...

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Beschleunigungssensoren<br />

Die Messung von Beschleunigungen erfolgt meist indirekt, indem die Kraft bestimmt wird,<br />

die notwendig ist, um eine Probemasse beschleunigt zu bewegen. M.a.W., je<strong>der</strong><br />

Kraftsensor kann als Beschleunigungssensor ausgebildet werden -> seismische Masse.<br />

Wichtigster „Micro-Electro-Mechanical Systems“- (MEMS) Markt nach Drucksensoren seit<br />

Einführung <strong>der</strong> Airbags.<br />

Prinzip des Accelerometers: Kraftmessung über eine Fe<strong>der</strong> mit <strong>der</strong> Fe<strong>der</strong>konstanten k,<br />

einer „seismischen“ Masse m und <strong>der</strong> Dämpfung λ zur von <strong>der</strong> Kraft abgeleiteten<br />

Bestimmung <strong>der</strong> Beschleunigung a.<br />

Die von außen wirkende Kraft<br />

ist proportional zur Beschleunigung (<strong>der</strong> Masse), zur Geschwindigkeit (Dämpfungsterm) und<br />

zur Auslenkung (Fe<strong>der</strong>konstante).<br />

Frequenz- und Übertragungscharakteristik<br />

Im Gleichgewicht gilt: x/a = m/k -> Sensitivität, beeinflusst die Resonanzfrequenz nach<br />

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