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Sensors and Actuators - Fachbereich Physik der Universität ...

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Typische Drucksensoren für mbar bis kbar<br />

Typischer Drucksensor für elektrischen Abgriff<br />

Membran (Metall o<strong>der</strong> Keramik, gewellt / glatt)<br />

Gefährdete Zone, spannungsoptimal ausbilden !<br />

Einspannung möglichst aus einem Stück Material<br />

formen!<br />

Bauweise mit besserer Linearität<br />

Die Messgeber können kapazitive o<strong>der</strong> induktive Wegsensoren o<strong>der</strong> Dehnmessstreifen<br />

sein.<br />

Piezoresistiver Dünnfilm-Silizium- und Dickfilm-Epoxyglas o<strong>der</strong> Dickfilm-Polymer-<br />

Drucksensor<br />

Dünnfilm-Membran Dickfilm-Polymer<br />

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