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Sensors and Actuators - Fachbereich Physik der Universität ...

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Eine Auflösung bis 1 pm ist erreichbar. Messfehler entstehen lediglich durch Gitter-<br />

Fertigungsfehler, die sich als Wellen in den Moiré-Streifen zeigen.<br />

7.5.1.3 Inductosyn Ort- und Winkelsensoren<br />

Induktive Weg- o<strong>der</strong> Winkelmessung mit dem Inductosyn:<br />

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