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Sensors and Actuators - Fachbereich Physik der Universität ...

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Abgeformte Strukturen aus WC/Co-gesintert 160µm<br />

Höhe - Aspektverhältnis 8:1<br />

Herstellung<br />

253<br />

Zahnrad (Fe-gesintert) Vergleich mit 0,5 Bleistiftmine<br />

Die Herstellung erfolgt in staubfreien Räumen<br />

(Reinraum) Außenluft: ca. 1 000 000 Partikel/cft;<br />

Reinraum Klasse 1: ca. 1 Partikel/cft. Der Mensch<br />

“erzeugt” beim Sitzen ohne Bewegung ca. 300 000<br />

Partikel/Minute. Quelle: Benecke, <strong>Universität</strong> Bremen

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