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Sensors and Actuators - Fachbereich Physik der Universität ...

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Kapazitiver Drucksensor: schwarz:<br />

Metallisierung auf Keramik (ca. 3-5 mm dick)<br />

Schwarze Bereiche entsprechen metallisierten<br />

Flächen durchkontaktiert zur Rückseite mit Dickfilm-<br />

Elektronik. Membran 0,3 .. 0,6 mm Al2O3 Glaslot<br />

vakuumdicht "aufgeätzt".<br />

Bei nicht belasteter Membran:<br />

C1 = C2,<br />

ausgelenkt:<br />

Alternativer Aufbau einer kapazitiven Sensor-Messzelle.<br />

Quelle: Sensortechnik, Springer, S.375<br />

(C2 - C1) / C1 o<strong>der</strong> C2/C1 o<strong>der</strong> C2 - C1<br />

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