Sensors and Actuators - Fachbereich Physik der Universität ...

Aufbau [3]
Vergleich von zwei Kennlinien [2]: Charakteristik von zwei Microbridge-Sensoren vom gleichen Hersteller. Es ist gut
ersichtlich, dass die Linearität nur bei kleinen Durchflussströmen gewährleistet ist. Auch die Messunsicherheit wird
größer, je größer der Messwert ist.
Das Heizelement wird um 160°C über die Umgebungstemperatur aufgeheizt. Ist der Durchfluss
null, so wird von beiden Sensorelementen die gleiche Wärme registriert. Bei Durchfluss kühlt
sich das vordere Sensorelement ab, das nachfolgende wird erwärmt. Es entsteht eine
Ausgangsspannung, deren Vorzeichen gerade die Flussrichtung anzeigt.
6.5.1.4 Daten kommerzieller Produkte
Daten Honeywell-Sensoren
Messbereich
Genauigkeit / Fehler
Temperatur
/Umgebung
• -1000 ... +1000 sccm* (Low Flow)
• 0 … 20 SLPM* (High Flow)
• Auflösung: 0.01 ml/min
• Genauigkeit: ± 2.5 % Reading … 32 % Reading
• Reproduzierbarkeit / Hysteres: ± 0.35 % Reading ... 1 % Full
Scale
• -25 ... 85 °C
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