Sensors and Actuators - Fachbereich Physik der Universität ...

Tagushi CO-Gassensor: Resistive Sensoren vom Taguchi-Typ bestehen aus porösen Sinterkörpern oder
Schichten aus halbleitenden Metalloxiden. Im weitaus häufigsten Fall n-leitender Materialien vermindert sich der
elektrische Widerstand bei Anwesenheit reduzierender Gase, während er sich in Atmosphären mit oxidierenden
Gasen erhöht. Im Unterschied zu Bulk-resistiven Sensoren ist für den Messeffekt die Widerstandsänderung einer
Randschicht der Keramikkörner verantwortlich. Quelle: www.sensedu.com & Beiträge zur Sensorik redox-aktiver
Gase, Dissertation, Bernhard Kamp, MPI für Festkörperforschung, Stuttgart, 2002
Auf dieser Grundlage wurden bereits zahlreiche Sensoren für H2, NH3, CH4, aber auch für
nicht reduzierende Gase wie CO2 oder O2 entwickelt. Dabei finden Metalloxide wie Fe2O3,
ZnO und TiO2 Verwendung.
Andere Sensoren auf resistiver Basis verwenden kammartig ineinandergreifende
Interdigitalstukturen, die mit organischen elektrisch leitenden Substanzen beschichtet
sind. Phthalocyanine - Moleküle, die in ihren Aufbau dem Chlorophyll ähnlich sind - können
je nach Art des Zentralatoms zur Detektion verschiedener Gase, z.B. CO oder NO2,
verwendet werden.
Feldeffekttransistoren
Mit der fortschreitenden Entwicklung von Halbleiterbauteilen bieten sich dem Analytischen
Chemiker neue Möglichkeiten zur Entwicklung Chemischer Sensoren. Für die Analytiker
von Interesse sind Bauteile, die auf dem Feldeffekt beruhen. Wird ein Halbleiter aus z.B. p-
Silicium an der Oberfläche zu SiO2 oxidiert und auf diese Oxidschicht eine Metallelektrode
aufgebracht, erhält man die grundlegende Anordnung für ein Feldeffektbauteil.
Entsprechend dieser Abordnung werden solche Bauteile oft als MOS (metal-oxidesemiconductor)
oder MIS (metal-insulator-semiconductor) Bauteile bezeichnet.
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