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Sensors and Actuators - Fachbereich Physik der Universität ...

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Induktive Drucksensoren<br />

Drucksensor ältere Ausführung<br />

Drucksensor mit Drucküberträger-Medien:<br />

Drucksensor mit Druckübertragermedium<br />

Induktiv: veraltet, aber noch gebräuchlich<br />

(wie induktiver Weggeber): Stift schwingt<br />

leicht, unterschiedliche Dehnkoeffizienten<br />

erzeugen Temperaturdrift und Hysterese.<br />

Direkt aufgedampfte o<strong>der</strong> aufgesputterte CrNi-Dehnmessstreifen (Dünnfilm):<br />

Dünnfilm DMS<br />

Anordnung von Dünnfilm - DMS auf Träger<br />

Sperrmembran<br />

Koppelmembran<br />

Öl<br />

Starres Teil als Überlastsicherung<br />

Übertragerstab<br />

Biegebalken mit aufgesputternten<br />

Dehnmeßstreifen<br />

8 Wi<strong>der</strong>stände z.B. für zwei Vollbrücken<br />

(Redundanz) es werden nur die besten<br />

genutzt. Gebräuchliche Versionen: Dünnfilm<br />

auf Keramik o<strong>der</strong> Metall o<strong>der</strong> eindiffundiert in<br />

Silizium.<br />

181<br />

SiO2-Schutzschicht<br />

Al o<strong>der</strong> Au Anschlußbahn<br />

Dünnfilm<br />

SiO2- Isolierung<br />

Metall (poliert)

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