Sensors and Actuators - Fachbereich Physik der Universität ...

Ausgangslast an SigOut: > 100 kΩ empfohlen
Temperatursignal: 1 µA / K (Last ≥ 10 kΩ empfohlen)
Temperatur: -40...+90 °C (operating)
Versorgung: 28 V DC (Toleranzbereich: 22...34 V)
Schock / Vibration: 200 g, 6 ms, halbsinus / 25 g, 50...2000 Hz
Andere realisierte Bespiele:
• SUNDSTRAND, USA: Q-flex: Quarzscheibe als Feder und Masse, kapazitiver
Abgriff, Magnetsystem zur Krafterzeugung
• ONERA, F: Cactus-Mikro-G-Messung in Satelliten (3-achsig) kapazitiver Abgriff,
elektrostatische Krafterzeugung, völlig frei schwebende Masse. Elektrostatisch
erzeugte Feder
Typische Fehler von Beschleunigungssensoren
(Verstärkung als Funktion der Frequenz ist prinzipbedingt und wird nicht als Fehler
gewertet.)
- Piezo-Beschleunigungssensoren
- nichtreproduzierbare Leckwiderstände
- Kabelkapzitäten, Kabelrauschen, Kabelbewegungen
- Dehnung der Befestigungsbasis
- Querempfindlichkeit u = k × && x + k × && y + k × && z
- Nichtlinearität
- Empfindlichkeitsdrift
- Rauschen
- Feder-Masse-Beschleunigungssensoren
- Nullpunktsdrift
- Empfindlichkeitsdrift
- Kreuzkopplung
- Querempfindlichkeit
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A x y z
2
- Nichtlinearität u = k × && x + k × && x + k × && x
- Rauschen
Als Funktion von Temperatur und Zeit,
Hysterese nach Temperaturzyklus.
u = k × x&& + k × && y + k × && z + k × x&&× && y + k × x&&× && z + k × && y×
A x y z xy xz yz
Querempfindlichkeit Ky, Kz, Kreuzkopplung Kxy, Kxz, Kyz
A x 2x
3x
Nichtlinearität (quadratisch und kubisch)
3
k x × &x
& ist die Soll-
Empfindlichkeit