flotox - Bibliothèque Ecole Centrale Lyon - École Centrale de Lyon

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- 86 -A, A', B, K" sont des constantes.Expérimentalement on trouveK' K" = K (2-31)L'ensemble de ces relationspermetd'affirmer que la tension de la grille flottantesera reliée la tension grille et â la tensiondrain par la relationVFG=AVG+BVD+K (2-32)où A, B, et K sont desconstantes.On peut noter dès à présent que lavaleur expérimentale de K est différente de zérobien que les mesures aientété effectuées sur desdispositifs vierges.
- 87 -11.2.3 Expression théorique des valeurs de couplage entre latension grille flottante et les tensions extérieuresappliquéesHypothèse de baseOn suppose que tous les couplages sont effectuéspar l'intermédiaire de capacités planes : les armaturesétant formées par les éléments conducteurs de la structureet les diélectriques par les divers oxydes.11.2.3.1 Expression des relations entre les différentestensionsOn définit les capacités suivantes(relativement à la figure 2-13)- la capacité C2 est formée par l'oxyde situéentre les deux couches de siliciumpolycristaflin (oxyde "interpoly") et sesarmatures sont constituées par le siliciumpolycristallin 1 et le silicium polycristaflin2.On définit la surface S2 comme étantcelle du silicium polycrjstafljn 1 moins lasurface de l'ouverture pratiquée dans celui-cipour permettre l'implantation de lazone drain.- la capacité Cl est formée par l'oxyde mince etses armatures sont le silicium polycristallin 1situé au dessus de la "zone mince" et la zoneimplantée correspondante.On définit la surface Sicelle de la "zone mince".comme étant
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Sont aussi habilitées ì diriger d
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AVANT-PROPOSLe travail présenté d
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Texas Instrument, United States Pat
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