flotox - Bibliothèque Ecole Centrale Lyon - École Centrale de Lyon

- 124 -La mesure des charges initiales réalisée sur deux types dedispositifs de technologies différentes apportent lesrésultats suivants+ sur les dispositifs Flotox dont l'oyxde de grille estun oxyde thermique, le silicium polycristallin est déposé etl'oxyde entre grilles est thermique, on constate qu'ilexiste toujours une charge initiale dont l'effet sur latension de seuil "vue" de la grille de commande correspondgénéralementun décalage de 0,4 â I V de cette tension deseuil (toutefois on peut atteindre des décalages allantjusqu'à 2,5 V). Cette charge initiale donne lieu à degrandes disparités qui paraissent aléatoires sur une mimetranche, cette disparité étant de plus ou moins 50% parrapport à la valeur nyenne de la charge sur une tranche.Des résultats analogues sont obtenus avec des dispositifsFlotox dont l'oxyde interpoly est déposé.+ les mesures effectuées sur des dispositifs Flotoxdont l'isolant entre grilles est réalisé entiârement ennitrure de silicium montre qu'aucune charge initiale n'estdécelée. II en est de name pour des dispositifs Flotox dontl'isolant entre grilles est réalisé par un sandwich Si02-nitrure (le Si02 étant côté grille flottante).La technologie pour fabriquer ces dispositifs est absolumentidentique à celle de la fabrication des Flotox utilisant leSi02 comme oxyde inter-poly.