flotox - Bibliothèque Ecole Centrale Lyon - École Centrale de Lyon

11.3 CARACTERISTIQUES PHYSIQUES ET MODELISATION11.3.1 Principes de base et problèmes posésNous avons vu qu'il était nécessaire, pour que ledispositif Flotox ait une fonction non volatile, de pouvoirvéhiculer, lorsque cela est souhaité, des charges traversl'isolant mince. Ce transport de chargespouvant se fairesoit de la grille flottante vers la diffusion, soit de ladiffusion vers la grille flottante.Dans le cas des oxydes minces, la conduction estréalisée par effet tunnel. Cette injection par effet tunnelpeut être de deux typestunnel bande-bande où les électrons dans la bandede conduction du substrat pénètrent dans la bandede conduction de l'oxyde. Puis ils sont accélérésdans cette bande par le champ électrique appliqué- tunnel bande-piège-bande où les électrons sontd'abord piégés dans l'oxyde avant de passer dansla bande de conduction de l'oxyde où ils peuventalors être accélérés par le champ électriqueappliqué.Dans la majorité des dispositifs réalisés,l'isolant mince est du dioxyde de silicium (généralementthermique). Dans ce type d'oxyde, tous les résultatstrouvés dans la littérature sont en accord pour dire quela mobilité des électrons et leur durée de vie {61]1621sont telles que leur produit est plus grand de plusieursordres de grandeurs vis-à--vis de celui obtenu è partir dela nobilité et la durée de vie des trous {811{6311.