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flotox - Bibliothèque Ecole Centrale Lyon - École Centrale de Lyon

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- 53 -p la charge, par unité <strong>de</strong> volume,dans le silicium, Qox la <strong>de</strong>nsité <strong>de</strong> chargesfixes dans l'oxy<strong>de</strong>, par unité <strong>de</strong> surfaceramenée à l'interface Si-BiO2.La résolution <strong>de</strong> ces équations dansle cas <strong>de</strong> l'approximation graduelle <strong>de</strong>Shockley)(c'est-à-dire lorsqueVl»32V9y2Ic2et valable en régime <strong>de</strong> non pincement ducanal) permet d'obtenir <strong>de</strong>s expressionsanalytiques <strong>de</strong>s courants.Lorsque l'on applique une tensionpositive entre la grille et le substrat, ilapparatt une zone <strong>de</strong> charge d'espace dans lesilicium et <strong>de</strong>s porteurs libres (électrons) àl'interface Si-BiO2. On peut considérer queles porteurs sont dans un état <strong>de</strong> pseudo-équilibrethermodynamique, donc que leurs <strong>de</strong>nsitéssont définies par <strong>de</strong>s pseudo-niveaux <strong>de</strong> Fermi.Comme il n'existe pas <strong>de</strong> composante <strong>de</strong> courantnormale à l'interface Si-BiO2, les pseudoniveaux<strong>de</strong> Fermi sont constants dans la zone <strong>de</strong>charge d'espace. La différence <strong>de</strong> potentiel(x) qui s'établit entre la couche d'inversionet le substrat neutre, se traduit par unecourbure <strong>de</strong>s ban<strong>de</strong>s d'énergie sur une distancexd (figure 2-4).Lors <strong>de</strong> l'emploi <strong>de</strong>s transistorsMOS, les courants utilisés <strong>de</strong> manière pratiquecorrespon<strong>de</strong>nt à ceux <strong>de</strong> la forte inversion.

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