flotox - Bibliothèque Ecole Centrale Lyon - École Centrale de Lyon

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- 174 -Pour un temps de montée très bref (lo ps), le champélectrique est tel qu'il présente une pointe de champ dont la surfaceest supérieure à celle du pic de champ correspondant à un tempsde montée plus long (100 us par exemple) justifiant ainsi la légèreaugmentation d'injection pour de brefs temps de montée.D'autre part, on constate que plus le temps de montéeestbref plus le pic de champ atteint de très hautes valeurs : 14 mV 1cmpour 10 us de temps de montée. Bien que pour de telles valeurs dechamps appliquées en permanence, les oxydes devraient claquer, comme lemontre les mesures faites sur des capacités témoins â la figure 3-lO,le temps d'application de ce champ est trop bref pour que l'on assisteà un claquage. Toutefois, l'application répétée de ce champ conduit parun effet cumulatif à une destruction de l'oxyde [100] C'est ce qui sepasse lors des dégradations. Nous avons pu vérifier ce phénomène pardes mesures sur des capacités : Si poly-oxyde (80 X) - substrat lors del'application, durant des temps très brefs (5 à 10 us), deélectriques très élevés (12 â 18 mV/cm).champs
- 175 -111.5. RETENTION DE L'INFORMATION111.5.1 Rétention "naturelleOn appellera rétention "naturelle", la propriétéqu'a un dispositif de pouvoir conserver une informationlorsqu'il n'est soumis aucune polarisation extérieure.Les courbes expérimentales de rétention à températureambiante, c'est-à-dire la mesure I intervalle detemps croissant en progression géométrique de la tension deseuil d'un dispositif préalablement écrit ou effacé,montrent une invariance de cette tension de seuil surplusieurs jours.Si l'on suppose que la perte d'information est dueà la conduction entre la grille flottante et le drain ouentre la grille flottante et la grille de commande due auchamp interne, la valeur théorique du temps au bout duquelapparait une perte de l'information est de 10 ans. Il fautaussi noter que cette perte d'information n'est passuffisante pour empêcher le dispositif de fonctionner.On peut donc dire que les dispositifs Flotox réausésont une rétention supérieure à 10 ans.
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AVANT-PROPOSLe travail présenté d
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