flotox - Bibliothèque Ecole Centrale Lyon - École Centrale de Lyon

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- 12 -Ecriture des équations= C2 (VGF1 - VG) (charge sur 1' armature supérieuredu poly 1)Q10 = (C3 + C1) (VGF1 -est le potentiel de surface)Ql1 =(VGF1 - Vs)Ql = (C1-i-C3+C4+C5) VGF1 - (C1+C3)= C4' (VGF1 - VD)- C VB - C4 V5= C5 (VGF1 - VB) (charge sur l'armature inférieure dupoly 1)la charge sur la grille flottante est := +l'écriture de la conservation de la chargeest la charge dans le silicium)Q5Ce groupe d'équation peut encore s'écrire= (C1 + C3 + C5) VGF1 - (C1 + C3) V - C5V3 - C4V5+ C2 VGF1 _C2VG=QGF1la loi d'injection du type Fowler Nordheim s'écrit12 d1 ß dGF1 -GFl) exp (-dV -V - dt1 GF1 SouVGF1 -d1est le champ existant dans l'oxyde mincele système d'équation s'écrit alorsSGFl- Q5 = (Cl+C3+C4+CS)(VG + + C2S1(Q5VG + + C2d1GF15)2exp (-s)_(C1+C3)Ys - C5 VB - C4 V5ßd1IVG++ C2)- d GFlGFl - +st dt
- 13 -La résolution de l'équation de Poisson nous permettra de calculerla variation de potentiel entre l'interface oxyde substrat et levolume du substrat eri fonction de la charge en surface dans lecanal.Par unité de surface nous avonsckTq LDn.2(e -y 1)1/2(1)le potentiel substrat source étant supposé nulet LD=Ts2 k c i/aP qPoCes équations peuvent se regrouper en un système de deux équations à2 inconnues et(Cl+C3+C4+C5)(VG +GFa.C2C5 VB (C1 C3)C1+C3+C4+C5+ (1+ ) (5)- C4 V = O (2)dQGF1dtSGFl(V +2 d1expf(!)d1 2 G C2 2IVG++C SIGF1étant donné par (1)
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N° d'ordre: 83-08Année 1983THÈSE
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Sont aussi habilitées ì diriger d
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AVANT-PROPOSLe travail présenté d
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EV /mchamp électrique critique lon
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VPVpseudo potentiel de FERMI au poi
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wt-ULss1.4 COPtJCLUSIOWSC - EEPROMV
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I NTRODUCT I ON
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L'inscription se fait en injectant
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GRILLE DE CONTROLE Sn SI POLYCRI3TA
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ØRILLE 0E c0NTMEpFIGURE 1-13Struct
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11.1 DESCRIPTION - PRINCIPE DE FONC
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Les grilles sont généralement ré
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- Attaque du nitrure- Implantation
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un même motif sontEn fait ces disp
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COUPE AU MILIEU OU CANAL DANS LE SE
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Ce résultat semble suffisant pour
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La troisième hypothèse repose sur
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Les tensions appliquées à la gril
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La hauteur de barrière entre silic
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Les hauteurs de barrière nsurées
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