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flotox - Bibliothèque Ecole Centrale Lyon - École Centrale de Lyon

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IV 1. INTRODUCTIONLe dispositif Flotox n'est pas l'unique structure grilleflottante utilisant un système d'injection <strong>de</strong> charg par effet tunnelFowler Nordheim. En effet, il existe actuellement <strong>de</strong>ux autresstructures "Hughes" et "FETMOS" (Motorola)) grille flottante et <strong>de</strong>même type d'injection que le FlotoxNous présentons, dans ce chapitre, ces <strong>de</strong>ux structures etnous effectuerons une comparaison avec le dispositif Flotox.Nous montrerons aussi qu'une évolution <strong>de</strong>s dimensions duFlotox est limitée si l'on utilise toujours du dioxy<strong>de</strong> <strong>de</strong> silicium entant qu'oxy<strong>de</strong> mince.

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