AKADEMIE DER WISSENSCHAFTEN DER DDR ZfK ...
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L i t e r a t u r<br />
- 108 -<br />
[1] Pooley, D., Brit. J. Appl. Phys. r¿ (1966) 855<br />
[2] Vajsburd, D.I. et al., Dokl. Akad. Nauk SSSR 10 (i960 1171<br />
[3] Hughes, A.E. and D. Pooley, J. Phys. Os Solid. St. Phys. 4 (1971) 1963<br />
[4] Dexter, D.L., Phys. Rev. 101 (1956) 48<br />
[5] Götz, G. et al., wird veröffentlicht<br />
4.13. STÖCHIOMETRIEUNTERSUGHUNGEN AN GESPUTTERTEN SiO^-SCHICHTEN AUF GaAs<br />
R. Grötzschel und J. Pfeiffer 1 )<br />
Zentralinstitut für Kernforschung Rossendorf, Bereich 2<br />
Für passivierende Schutzschichten auf Halbleiter-Bauelementen ist Si02 geeignet.<br />
Auf AIII-BV-Halbleitern werden diese Schichten durch Sputtering aufgebracht. Dabei<br />
ist aus halbleiterphysikalischen Grü iden<br />
ein technologisches Verfahren zu suchen, das<br />
die normale SiO^-Stöchiometrie erbringt. Zur<br />
Oxydschichtdicke: ¿000 А<br />
Untersuchung der Stöchiometrie von gesputtei-<br />
o<br />
о<br />
с<br />
X<br />
J'2<br />
Q. E<br />
-Фол : ,60 °<br />
En : 135 MeV _<br />
1 Л F<br />
80 90 100 110 120 130 U0<br />
Kanalnummer<br />
Abb. 1<br />
Protonen-Rückstreuspektrum einer<br />
SiOx-belegten GaAs-Scheibe<br />
150<br />
ten SiO^-Schichten auf GaAs-Einkristallen<br />
wurde die in [1] beschriebene Rückstreumr.thode<br />
modifiziert angewandt. Wegen der relativ großen<br />
Schut,zschichtdicke von 0.4^um der zur Verfügung<br />
stehenden Proben und der höheren Ordnungszahlen<br />
des Grundmaterials wurden Protonen von<br />
1.35 MeV als Inzidenzteilchen gewählt und auf<br />
kanalisierten Einschuß verzichtet [2]. Die<br />
Rückstreuspektren wurden mit im <strong>ZfK</strong> hergestellten<br />
Detektoren aufgenommen, der Streuwinkel<br />
betrug dabei 160°. Aus den Spektren (Abb. 1),<br />
bei denen die vom Sauerstoff und vom Silizium<br />
gestreuten Protonen isolierte Peaks auf einem<br />
vom GaAs stammenden Kontinuum bilden, lassen<br />
sich die stöchiometrischen Verhältnisse durch<br />
Vergleich mit dem Rutherford-Querschnitt ermitteln.<br />
Bei den vier untersuchten Proben ergab<br />
sich ein beträchtlicher Sauerstoffüber-<br />
schuß. Der Wert für x lag im Mittel bei 4.0. Der relative Fehler beträgt 15 %•<br />
L i t e r a t u r<br />
fi] Bauer, Ch. et al., Jahresbericht <strong>ZfK</strong>-262 (1973) 156<br />
[2] Pfeiffer, J., Diplomarbeit, TU Dresden 1974<br />
A ) Diplomand der TU Dresden
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