Entwicklung einer Nanotechnologie-Plattform für die ... - JuSER
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6 INTEGRATION VON METHYL-SILSESQUIOXAN<br />
handelt, was beispielsweise <strong>für</strong> <strong>die</strong> Skalierbarkeit von Speicherzellen von Bedeutung<br />
wäre. Ferner blieben <strong>die</strong> Prozesse, welche das Ausschalten beschreiben, durch <strong>die</strong>se<br />
Versuche unbetrachtet.<br />
Ag<br />
U<br />
MSQ<br />
Ag<br />
2500 nm 1000 nm<br />
Strom [mA]<br />
0.50<br />
0.25<br />
@ 20 V<br />
Abbildung 6.8: REM-Aufnahmen an<br />
Lateralstrukturen nach einem<br />
Formierungsprozess mit 20 V (oben). Es<br />
bildete sich nach 57 s ein metallisch<br />
Leitender Pfad durch <strong>die</strong> MSQ-Schicht.<br />
Der sprunghafte Stromanstieg in der<br />
I(U)-Messung zeigt den SET (unten).<br />
0.00<br />
0 50 100<br />
Zeit [s]<br />
6.3 Untersuchung zum Einfluss der Methyl-Gruppe<br />
Um den Einfluss der Methylgruppe des MSQ auf das Schaltverhalten der Pt/MSQ/Ag-<br />
Zellen abschätzen zu können, wurden Proben hergestellt, bei denen das MSQ mit<br />
unterschiedlichen Temperaturen ausgeheizt wurde. Ziel war es, mittels hoher<br />
Temperaturen <strong>die</strong> Methyl-Gruppe zu entfernen, wie es beispielsweise in den Referenzen<br />
[122] und [125] gezeigt wurde.<br />
100
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