Entwicklung einer Nanotechnologie-Plattform für die ... - JuSER
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2 DIE ENTWICKLUNG DER SPEICHERTECHNOLOGIE<br />
Das Interesse am Forschungsfeld zur Nanoimprint-Lithographie wächst stetig, was auch<br />
an der Vielzahl der Beiträge großer Technologiekonferenzen (z. B. der 34 th<br />
International Conference on Micro and Nano Engineering 2008) zu erkennen ist<br />
[33, 34]. Doch der Boom ist anhand der oben aufgezeigten Fakten durchaus berechtigt.<br />
Allerdings ist davon auszugehen, dass <strong>die</strong> Imprint-Technologie zunächst beispielsweise<br />
in der Herstellung von photonischen oder optischen Komponenten und in Feldern der<br />
Chemie und Biologie eingesetzt wird [35]. Der Einsatz zur Fertigung von<br />
hochintegrierten Prozessoren und Speicherchips bedarf hingegen noch ein wenig mehr<br />
Erfahrung. Allerdings wird auch hier <strong>die</strong> Nanoimprint-Lithgraphie durchaus als<br />
Prozess-Technologie der nächsten Generation eingeplant. Die International Technology<br />
Roadmap for Semiconductors (ITRS) beschreibt <strong>die</strong> Einführung der Imprint-<br />
Technologie <strong>für</strong> <strong>die</strong> Technologieknoten der nächsten Dekade (siehe Abbildung 2.2)<br />
[36]. Somit wächst <strong>die</strong> Wahrscheinlichkeit auch Speicherchips (in Abbildung 2.2 Flash<br />
oder DRAM) zukünftig mit Nanoimprint-Lithographie herzustellen.<br />
Abbildung 2.2: Auszug aus der ITRS-Roadmap [37].<br />
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