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Entwicklung einer Nanotechnologie-Plattform für die ... - JuSER

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[98] H. Honigschmid et al., IEEE Symposium on VLSI Circuits 2006 – Digest of<br />

Technical Papers, 110 – 111 (2006).<br />

[99] http://www.obducat.com<br />

[100] D. Resnik et al., Materials Today 8 (2), 34 – 42 (2005).<br />

[101] Molecular Imprints Inc., Semiconductor International 1/29/2009, “Molecular<br />

Imprints Aims at Japan Market”, http://www.semiconductor.net.<br />

[102] R.Waser, Nanotechnology Vol. 3: Information and Technology I, Wiley-VCH,<br />

Weinheim (2008).<br />

[103] H. Gao et al., Nano Letters 6 (11), 2438 – 2441 (2006).<br />

[104] User-Manual Nanonex 2000.<br />

[105] S. Schneider et al., Material Research Society Symposium 655, 2.5.1 – 2.5.6<br />

(2001).<br />

[106] M. Meier et al., Microelectronic Engineering 85, 870 – 872 (2008).<br />

[107] Allresist Gesellschaft <strong>für</strong> chemische Produkte zur Mikrostrukturierung mbH,<br />

Datenblatt: PMMA Polymere E-Beam Resiste (2007).<br />

[108] S. Gilles, Diplomarbeit zum Thema: “Chemical modification of Silicon surfaces<br />

for the application in soft lithography”, Jülich (2007).<br />

[109] C. Nauenheim, Disseratation zum Thema: “Intergration of resistively switching<br />

TiO 2 in crossbar array architectures“, Jülich (2009).<br />

[110] L. J. Guo, Advanced Materials 19, 495 – 513 (2007).<br />

[111] Y. Harai et al., Journal of Vacuum Science and Technology B 19(6), 2811 – 2815<br />

(2001).<br />

[112] M. E. Walsh et al., Journal of Vacuum Science and Technology B 18(6), 3539 –<br />

3543 (2000).<br />

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