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Entwicklung einer Nanotechnologie-Plattform für die ... - JuSER

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3 RESISTIVES SCHALTEN<br />

Oxiden um das Bilden und Zerstören eines einzelnen metallischen Filaments handelt, da<br />

Messungen an Zellen unterschiedlichen Querschnitts stets den gleichen ON-Zustand<br />

zeigten [66]. Mit Hilfe der Rasterkraftmikroskopie (Conductive Atomic Force<br />

Microscopy - CAFM) zeigten Szot et al. <strong>die</strong> Bildung von Filamenten der Durchmesser-<br />

Größenordnung von 1 – 2 nm in SrTiO 3 [64, 67].<br />

Dennoch muss an <strong>die</strong>ser Stelle erwähnt werden, dass das Phänomen des resistiven<br />

Schaltens durch Redoxprozesse von Anionen bisweilen noch nicht vollständig<br />

verstanden ist. Derzeit konzentriert sich <strong>die</strong> wissenschaftliche Forschung der resistiv<br />

schaltenden Übergangsmetall-Oxide darauf, eine Reihe offener Fragen zu klären. Es<br />

werden u. a. das mikroskopische Verständnis des Ionentransports, <strong>die</strong> genaue<br />

Morphologie der metallischen Filamente oder der Einfluss von Defekten auf den<br />

Schaltprozess stu<strong>die</strong>rt [52].<br />

Im Fall II der Redoxprozesse von Kationen ist der Schaltmechanismus bereits gut<br />

verstanden. Die MIM-Struktur der Schaltzelle besteht hier aus <strong>einer</strong> inerten Metall-<br />

Bottom-Elektrode (z.B. Pt, W), einem Festkörper-Elektrolyt (z.B. GeSe, SiO 2 , WO 3 )<br />

und <strong>einer</strong> leicht oxi<strong>die</strong>rbaren Top-Elektrode (z.B. Ag, Cu) (siehe Abbildung 3.4) [68-<br />

70]. Der MIM-Kondenstator befindet sich initial in einem hochohmigen Zustand<br />

(Abbildung 3.4 a).<br />

+U -U<br />

Ag / Cu<br />

Elektrolyt<br />

+<br />

Pt<br />

a) b) c)<br />

Abbildung 3.4: Resistives Schalten in Festkörper-Elektrolyten: a) Initial hochisolierende MIM-<br />

Zelle, b) Ausbildung eines metallischen Pfades durch das Festkörperelektrolyt durch Oxidation<br />

des Top-Elektroden-Materials, Ionendrift durch <strong>die</strong> angelegte Spannung und Reduktion der<br />

Ionen an der Bottom-Elektrode, c) Auflösen des metallischen Filaments durch Umkehrung der<br />

Spannungspolarität.<br />

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