Entwicklung einer Nanotechnologie-Plattform für die ... - JuSER
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2 DIE ENTWICKLUNG DER SPEICHERTECHNOLOGIE<br />
I) Thermischer Imprint II) UV Imprint<br />
Stempel<br />
a)<br />
Polymer / Lack<br />
Substrat<br />
h)<br />
T > T Glas<br />
b)<br />
UV<br />
i)<br />
T < T Glas<br />
c)<br />
j)<br />
d)<br />
k)<br />
e) l)<br />
f) m)<br />
g) n)<br />
Abbildung 2.1: Gegenüberstellung des Thermischen Imprints und des UV-Imprints.<br />
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