Entwicklung einer Nanotechnologie-Plattform für die ... - JuSER
Entwicklung einer Nanotechnologie-Plattform für die ... - JuSER
Entwicklung einer Nanotechnologie-Plattform für die ... - JuSER
Erfolgreiche ePaper selbst erstellen
Machen Sie aus Ihren PDF Publikationen ein blätterbares Flipbook mit unserer einzigartigen Google optimierten e-Paper Software.
Reaktives Ionenstrahl-Ätzen<br />
Metalle<br />
Gas : 10 sccm Ar<br />
RF-Power [W] : ~165 (300)<br />
Beam-Current [mA] : 125 (125)<br />
Beam-Voltage [V] : 446 (450)<br />
Accelaration-Voltage [V] : 187 (187)<br />
Neutralisation-Current [mA] : 152 (150)<br />
FBN-Ar : 5 sccm<br />
Cooling : 15°C<br />
Rotation : 10 rpm<br />
Angle : 0° bzw. -80° <strong>für</strong> Antifencing<br />
SiO 2 -based<br />
Gas : 10 sccm CF 4<br />
RF-Power [W] : ~185 (300)<br />
Beam-Current [mA] : 125 (125)<br />
Beam-Voltage [V] : 446 (450)<br />
Accelaration-Voltage [V] : 180 (180)<br />
Neutralisation-Current [mA] : 152 (150)<br />
FBN-Ar : 5 sccm<br />
Cooling : 15°C<br />
Rotation : 10 rpm<br />
Angle : 0°<br />
(Sollwert)<br />
126
Change language