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Texte intégral en version PDF - Epublications - Université de Limoges

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Partie I : Généralités sur la ferroélectricité, les<br />

matériaux ferroélectriques et les techniques <strong>de</strong><br />

dépôt <strong>de</strong> films minces<br />

Dans les premiers paragraphes <strong>de</strong> cette partie, sont abordés brièvem<strong>en</strong>t les<br />

thèmes <strong>de</strong> ferroélectricité, les propriétés non linéaires <strong>de</strong> certains oxy<strong>de</strong>s puis la<br />

notion <strong>de</strong> domaines ferroélectriques où la prés<strong>en</strong>ce d’une polarisation résultante non<br />

nulle se trouve à l’origine du développem<strong>en</strong>t <strong>de</strong>s mémoires ferroélectriques et <strong>de</strong><br />

l’étu<strong>de</strong> <strong>de</strong>s matériaux susceptibles <strong>de</strong> possé<strong>de</strong>r <strong>de</strong> telles caractéristiques.<br />

Les oxy<strong>de</strong>s à base <strong>de</strong> plomb qui sont aujourd’hui <strong>en</strong>core pleinem<strong>en</strong>t utilisés<br />

dans l’électronique malgré les risques liés à la pollution et à la santé, doiv<strong>en</strong>t à ce<br />

titre être remplacés. Cette nécessité tout autant que la dégradation <strong>de</strong>s propriétés<br />

<strong>de</strong>s titanozirconates <strong>de</strong> plomb sous une utilisation prolongée suscit<strong>en</strong>t <strong>de</strong>puis une<br />

vingtaine d’années un intérêt r<strong>en</strong>ouvelé <strong>en</strong>traînant l’expertise <strong>de</strong> matériaux connus<br />

ou nouvellem<strong>en</strong>t synthétisés. Ces familles <strong>de</strong> matériaux ferroélectriques font ainsi<br />

l’objet <strong>de</strong>s paragraphes suivants.<br />

Vi<strong>en</strong>n<strong>en</strong>t <strong>en</strong>suite les ressources bibliographiques qui concern<strong>en</strong>t l’impact <strong>de</strong> la<br />

mise <strong>en</strong> forme sur les propriétés <strong>de</strong> ces matériaux ainsi que les différ<strong>en</strong>ts procédés<br />

couramm<strong>en</strong>t utilisés pour obt<strong>en</strong>ir la géométrie <strong>de</strong> film mince. Un acc<strong>en</strong>t particulier est<br />

donné à la technologie <strong>de</strong>s dépôts chimiques <strong>en</strong> phase liqui<strong>de</strong> sur laquelle s’appuie<br />

le travail expérim<strong>en</strong>tal <strong>de</strong> ce mémoire.<br />

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