Texte intégral en version PDF - Epublications - Université de Limoges

Figure 108 : Micrographies MEB du film de NBT (Figure 107) préparé avec la solution précurseur n°2
et traité à 800°C avec une rampe de chauffe TC.
4.2.3 Effet du substrat
Le type de substrat (n°1 ou n°2) utilisé se trouve avoir un effet sur la
microstructure du film. Dans le cas d’un film composé de quatre couches (Figure 109),
le retrait dû à l’élimination des solvants et des ligands organiques, au frittage du film
pyrolysé et enfin à des coefficients de dilatation thermique différents entre
l’hétérostructure platinée (notamment pour le substrat du type n°1) et le film déposé,
entraîne un relâchement homogène des contraintes sous la forme de
« décrochages » dans le plan du film. Ces morphologies se retrouvent
systématiquement dans le cas de films minces déposés sur le substrat de type n°1
quelle que soit la rampe de chauffe ou la température de recuit. Une image en
inversion de contraste et une seconde obtenue par une conversion du niveau de gris
en « noir et blanc » non nuancé viennent compléter l’image classique et permettent
de repérer les zones où les amas se décrochent des plaques adjacentes (Figure 109 et
Figure 110).
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