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4.3 Décomposition d’organométalliques (MOD)
4.3.1 Description
La décomposition d’organométalliques (MOD - metalorganic decomposition)
est une méthode de synthèse qui, contrairement à la méthode sol-gel, ne fait pas
spécialement intervenir de mécanismes réactionnels au sein de la solution : le
mélange des précurseurs ne donne pratiquement pas lieu à des réactions de
condensation et les interactions chimiques entre les molécules précurseurs sont
considérées comme minimales que ce soit pendant la préparation de la solution ou
pendant la phase de dépôt.
Le mélange stoechiométrique des précurseurs organométalliques se fait
d’ordinaire à température ambiante, à partir de précurseurs à longues chaînes
carbonées de type carboxylate R-COO- : 2-ethylhéxanoate où R = C7H15,
naphténate,… ou β-dicétonate R-CO-CH2-CO-R’ (tautomérisation = céto-énol (Figure
14)). Ces sels organométalliques sont peu sensibles à l’action de l’eau et
particulièrement solubles dans des solvants non polaires comme le xylène. Mais les
solvants choisis peuvent aussi bien être polaires (alcools, mélanges d’acides
carboxyliques et d’alcools, …) que non polaires (toluène, xylène,…).
La solution est alors considérée comme une dispersion uniforme de molécules
précurseurs. Les paramètres importants dans cette méthode sont la viscosité et la
concentration en soluté de la solution obtenue en vue de pouvoir la déposer en film
mince sur un substrat. Les précurseurs doivent être suffisamment solubles dans les
solvants choisis pour que la solution résultante soit stable et les groupements doivent
tous pouvoir être évacués sous la forme de gaz au cours du traitement thermique
sans laisser de résidus carbonés risquant d’altérer les propriétés du film [124, 125].
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