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Figure 117 : Etude AFM du film présenté à la Figure 116 : (a) Acquisition (500x500) nm 2 et vue 3D, (b) Acquisition (300x300) nm 2 et vue 3D, (c) Analyse du profil mettant en évidence la topographie et la taille de grains. - 200 -
4.2.5.b Recuit 30 minutes à 750°C d’un film pyrolysé à 460°C Afin d’obtenir des informations complémentaires sur l’impact de la température de recuit sur la microstructure, la température du traitement thermique a été fixée à 750°C et sa durée à 30 minutes (Figure 118). Figure 118 : Diagramme de diffraction des rayons X d’un film préparé avec la solution précurseur n°2, cristallisé couche par couche à 460°C et recuit 30 minutes à 750°C. Quelques défauts ou pores sont visibles entre les amas de grains (Figure 119). Le film semble dense et la taille de grains est voisine de celle observée pour un film traité longuement à 500°C. Les amas de taille comparable aux grains du film précédent semblent ici composés de grains plus fins. Le traitement thermique à 750°C et la rampe de chauffe TC de 10°C.min -1 permettent la nucléation d’autres nuclei à partir de la matrice amorphe, ce qui implique que la taille de grains soit plus faible et que les amas soient le fruit de la coalescence de ces grains plus fins. Le traitement des images AFM obtenues sur ce film indique que la rugosité est de 3,57 nm. - 201 -
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Remerciements Je tiens à remercier
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(à renouveler !...), merci à Mark
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3.3 Modèle de cristallisation (sol
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Introduction Depuis plus d’un dem
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Les cristaux doivent nécessairemen
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- les matériaux présentant une tr
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électrique de sens contraire et pr
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croît plus vite jusqu’à atteind
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cycle de polarisation réversible [
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2.1 Composés à structure pérovsk
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Ba1-xSrxTiO3 [39, 40]. La températ
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nanodéplacements, condensateurs mu
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fraction volumique de la variété
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l’ont observé Park et al. au cou
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On assiste alors au déplacement de
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typiquement comprises entre 4 et 16
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3.2 Les méthodes chimiques Les tec
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4 Technologie du dépôt chimique e
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Les dépôts réalisés par CSD per
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première synthèse sol-gel d’un
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Les alcoxydes métalliques sont ain
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4.3 Décomposition d’organométal
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L’épaisseur du film formé est f
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- Feuille de métal (Cu), - Verre o
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Après son dépôt le film mince co
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arrive que des précurseurs apparte
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affectent de la même manière la d
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1.1.2 Cation B Les blocs pérovskit
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d’Aurivillius comme on peut le co
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3.1.3 Effet de la température Troi
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3.2 Dépôt sur silicium platiné P
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3.2.2 Diagrammes de référence Fig
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Il est intéressant de remarquer qu
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préalable cristallisée par traite
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son substrat. Il conviendrait de fa
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3.5.3 Effets stœchiométriques Plu
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L’étude de la cristallisation de
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n’inhibe pas la nucléation de NB
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2 Synthèse sol-gel des solutions d
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100. Alexe, M., C. Harnagea, and D.
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174. Frit, B. and J.P. Mercurio, Cr
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209. Gruverman, A., O. Auciello, an
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