Texte intégral en version PDF - Epublications - Université de Limoges

Figure 32 : Micrographie MEB d’un film de SBT15 sur alumine composé de 10 couches et traité 3h à
800°C (10°C.min -1 ) sous air. (a) x1200, (b) x 4800, (c) x25000, (d) x80000.
Nous avons pu constater l’obtention d’un film mince monophasé dès 600°C
caractérisé par une répartition aléatoire des cristallites composant le film cristallin. Un
traitement thermique permettant d’obtenir une bonne cristallinité a été observé
optimum pour une durée de 3h à 800°C avec une rampe de chauffe 10°C.min -1 . Par
ailleurs, un phénomène de décomposition thermique a été constaté pour des durées de
recuit trop longues à 800°C et la possibilité de cristalliser le film mince par traitement
rapide avec une rampe de chauffe RTA est encourageante car elle permet de réduire le
temps de séjour de l’échantillon à haute température et donc de limiter les pertes de
bismuth par diffusion et volatilisation. Cette étude préliminaire sur alumine a permis de
se familiariser avec les phases d’Aurivillius étudiées dans le cas d’une géométrie de film
mince. La section suivante concerne le dépôt de ces phases sur un substrat de silicium
platiné.
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