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Figure 132 : Etude AFM du film présenté à la Figure 131 : (a) Acquisition (3000x3000) nm 2 et vue 3D, (b) Acquisition (1500x1500) nm 2 et vue 3D, (c) Analyse du profil mettant en évidence la topographie et la taille de grains. - 220 -
5.1.4.b Traitement thermique à 700°C (TC) Figure 133 : Diagramme de diffraction d’un film de NBT préparé la solution du système (a) et cristallisé à 700°C/TC. Le film est majoritairement cristallisé dans la structure de type perovskite (Figure 133). Seuls de faibles pics vers 14,5°, 30° et 35° indiquent la présence en faible proportion de grains de phase pyrochlore. Les images AFM (Figure 134) sont comparables à celles obtenues sur le film précédent. Les grappes de grains de NBT (300 nm) sont manifestement plus denses. Au sein de ces grappes, les cristallites de NBT sont sensiblement plus volumineux (80 nm). L’deflection mesurée s’élève à 94,8 nm et la rugosité moyenne est de 9,7 nm. - 221 -
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UNIVERSITE DE LIMOGES Ecole Doctora
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Remerciements Je tiens à remercier
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(à renouveler !...), merci à Mark
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Table des matières Introduction 16
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3.3 Modèle de cristallisation (sol
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Introduction Depuis plus d’un dem
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Partie I : Généralités sur la fe
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Les cristaux doivent nécessairemen
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- les matériaux présentant une tr
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électrique de sens contraire et pr
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croît plus vite jusqu’à atteind
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cycle de polarisation réversible [
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2.1 Composés à structure pérovsk
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Ba1-xSrxTiO3 [39, 40]. La températ
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nanodéplacements, condensateurs mu
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fraction volumique de la variété
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l’ont observé Park et al. au cou
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On assiste alors au déplacement de
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typiquement comprises entre 4 et 16
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3.2 Les méthodes chimiques Les tec
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4 Technologie du dépôt chimique e
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Les dépôts réalisés par CSD per
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première synthèse sol-gel d’un
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Les alcoxydes métalliques sont ain
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mécanismes d’agrégation de la v
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4.3 Décomposition d’organométal
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L’épaisseur du film formé est f
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- Feuille de métal (Cu), - Verre o
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Après son dépôt le film mince co
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arrive que des précurseurs apparte
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affectent de la même manière la d
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Figure 18 : Diagramme idéal de l
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étapes de la cristallisation. Les
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Partie II : Films minces de SrBi4Ti
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1.1.2 Cation B Les blocs pérovskit
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2.1.2 Observations Les xérogels de
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isothermes de la thermodiffraction
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carbonate de baryum BaCO3), d’oxy
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d’Aurivillius comme on peut le co
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secondes. La couche est ensuite sé
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3.1.3 Effet de la température Troi
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3.1.6 Microstructure et dilatation
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3.2 Dépôt sur silicium platiné P
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3.2.2 Diagrammes de référence Fig
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information intéressante. En effet
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les effets de nucléation aux inter
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Il est intéressant de remarquer qu
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préalable cristallisée par traite
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qu’il n’existe pas de réseaux
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Figure 47 : Evolution de la section
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son substrat. Il conviendrait de fa
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ceux de baryum. Le strontium est do
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3.5.3 Effets stœchiométriques Plu
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composition supposée correspond à
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3.5.3.b Cas d’une sous stœchiom
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La sous-stœchiométrie en strontiu
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L’étude de la cristallisation de
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grâce à une adaptation de l’org
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Figure 62 : Diagramme de diffractio
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n’inhibe pas la nucléation de NB
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Figure 67 : Diagramme de diffractio
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diagramme appartient à un film rec
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2 Synthèse sol-gel des solutions d
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Trois événements thermiques sont
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déposée au cours du dépôt et/ou
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3 Etude thermique des xérogels obt
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3.1.2 Analyses IR du xérogel à di
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62. Chiang, Y.-M., G.W. Farrey, and
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174. Frit, B. and J.P. Mercurio, Cr
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209. Gruverman, A., O. Auciello, an
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