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Figure 119 : Etude AFM du film présenté à la Figure 118 : (a) Acquisition (1000x1000) nm 2 et vue 3D, (b) Acquisition (300x300) nm 2 et vue 3D, (c) Analyse du profil mettant en évidence la topographie et la taille de grains. Les résultats précédents ont montré qu’il était possible d’obtenir un film de NBT majoritairement cristallisé à une température inférieure à 500°C en portant la température de pyrolyse à 460°C. Ce film de faible rugosité est composé de cristallites de taille nanométrique mesurant environ 40 nm. - 202 -
L’impact d’un recuit à 500°C ou 750°C se solde par un accroissement de la taille de gains ce qui permet de dire soit que le taux de conversion (NBTam NBTper) n’est pas optimum lorsque les couches du film sont pyrolysées durant 5 minutes à 460°C soit que le faible rayon de courbure des grains nanométriques couplé à une énergie interfaciale importante favorise des remaniements microstructuraux. Au terme du recuit, la rugosité du film s’accroît ce qui traduit un phénomène de coalescence (émergence de grains par rapport à la ligne de base moyenne délimités par les joints de grains). La porosité est relativement réduite en comparaison avec les films pyrolysés à 380°C. 4.2.6 Caractérisation électrique macroscopique (P-E) et locale (PFM) 4.2.6.a Condensateur Pt/NBT/Au et mesure (P-E) La méthode standard permettant de mesurer un cycle d’hystérésis sur des matériaux ferroélectriques déposés en film mince consiste à utiliser un dispositif Sawyer-Tower au sein duquel le condensateur est remplacé par un montage intégrateur. Les mesures sont réalisées à une fréquence de 1000 Hz et une valeur maximum de tension de 20 V est appliquée sur les bornes de l’échantillon. Nous proposons de comparer les résultats obtenus sur un film de NBT cristallisé à basse température (T
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Remerciements Je tiens à remercier
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3.3 Modèle de cristallisation (sol
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Introduction Depuis plus d’un dem
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Partie I : Généralités sur la fe
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Les cristaux doivent nécessairemen
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- les matériaux présentant une tr
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électrique de sens contraire et pr
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croît plus vite jusqu’à atteind
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cycle de polarisation réversible [
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2.1 Composés à structure pérovsk
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Ba1-xSrxTiO3 [39, 40]. La températ
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nanodéplacements, condensateurs mu
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fraction volumique de la variété
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l’ont observé Park et al. au cou
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On assiste alors au déplacement de
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typiquement comprises entre 4 et 16
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3.2 Les méthodes chimiques Les tec
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4 Technologie du dépôt chimique e
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Les dépôts réalisés par CSD per
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première synthèse sol-gel d’un
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Les alcoxydes métalliques sont ain
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mécanismes d’agrégation de la v
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4.3 Décomposition d’organométal
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L’épaisseur du film formé est f
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- Feuille de métal (Cu), - Verre o
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Après son dépôt le film mince co
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arrive que des précurseurs apparte
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affectent de la même manière la d
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Figure 18 : Diagramme idéal de l
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étapes de la cristallisation. Les
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1.1.2 Cation B Les blocs pérovskit
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2.1.2 Observations Les xérogels de
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d’Aurivillius comme on peut le co
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secondes. La couche est ensuite sé
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3.1.3 Effet de la température Troi
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3.1.6 Microstructure et dilatation
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3.2 Dépôt sur silicium platiné P
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3.2.2 Diagrammes de référence Fig
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information intéressante. En effet
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les effets de nucléation aux inter
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Il est intéressant de remarquer qu
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préalable cristallisée par traite
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qu’il n’existe pas de réseaux
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son substrat. Il conviendrait de fa
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ceux de baryum. Le strontium est do
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3.5.3 Effets stœchiométriques Plu
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composition supposée correspond à
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3.5.3.b Cas d’une sous stœchiom
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L’étude de la cristallisation de
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n’inhibe pas la nucléation de NB
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diagramme appartient à un film rec
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2 Synthèse sol-gel des solutions d
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Trois événements thermiques sont
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140. Keddie, J.L., P.V. Braun, and
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174. Frit, B. and J.P. Mercurio, Cr
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209. Gruverman, A., O. Auciello, an
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