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Texte intégral en version PDF - Epublications - Université de Limoges

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2.3 Céramiques massives et films minces<br />

La principale différ<strong>en</strong>ce <strong>en</strong>tre les céramiques massives et les films minces<br />

rési<strong>de</strong> dans le fait que l’anomalie diélectrique particulièrem<strong>en</strong>t marquée dans les<br />

céramiques massives t<strong>en</strong>d à s’estomper, à se décaler voire à disparaître dans le cas<br />

<strong>de</strong>s films minces pour plusieurs raisons :<br />

- Faible taille <strong>de</strong> grains (submicronique) et faible épaisseur (Figure 10) [87],<br />

- Contraintes dans le film dues au substrat [88],<br />

- Effets prédominants <strong>de</strong>s interfaces (<strong>de</strong>ad layer) [89].<br />

Figure 10 : Dép<strong>en</strong>dance <strong>de</strong> la permittivité <strong>en</strong> fonction <strong>de</strong> l’épaisseur <strong>de</strong> film déposé d’après C.B.<br />

Parker, J-P. Maria et A.I. Kingon, “Temperature and thickness <strong>de</strong>p<strong>en</strong>d<strong>en</strong>t permittivity of (Ba,Sr)TiO3<br />

thin films”, Appl. Phys. Lett. 81 (2), p. 340-342, 2002.<br />

Les films <strong>de</strong> PZT et <strong>de</strong> SBT ont été très largem<strong>en</strong>t étudiés mais prés<strong>en</strong>t<strong>en</strong>t<br />

chacun un certain nombre d’inconvéni<strong>en</strong>ts. Les films <strong>de</strong> PZT possèd<strong>en</strong>t une valeur<br />

<strong>de</strong> polarisation réman<strong>en</strong>te allant <strong>de</strong> 20 à 50 µC.cm -2 <strong>en</strong> fonction <strong>de</strong>s conditions<br />

expérim<strong>en</strong>tales. Ils sont généralem<strong>en</strong>t cristallisé à <strong>de</strong>s températures comprises <strong>en</strong>tre<br />

450°C et 600°C mais sont sujets à un mécanisme <strong>de</strong> fatigue qui limite leur utilisation<br />

comme nous l’avons vu précé<strong>de</strong>mm<strong>en</strong>t. Les films <strong>de</strong> SBT se distingu<strong>en</strong>t <strong>de</strong>s films <strong>de</strong><br />

PZT par leur résistance à la fatigue qui est attribué à la stabilité chimique que semble<br />

conférer aux blocs pérovskites la prés<strong>en</strong>ce périodique <strong>de</strong>s feuillets fluorines [90]. Les<br />

valeurs <strong>de</strong> polarisation réman<strong>en</strong>te relevées dans la littérature sont faibles et<br />

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