Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...
Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...
Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...
You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007<br />
Chapitre 3 : <strong>Etu<strong>de</strong></strong> <strong>de</strong> <strong>capacités</strong> MIM <strong>à</strong> <strong>base</strong> <strong>de</strong> STO et BTO<br />
Tableau 3-5 :Constante diélectrique obt<strong>en</strong>ue <strong>à</strong> une température <strong>de</strong> recuit <strong>de</strong> 625°C pour chaque<br />
échantillon <strong>de</strong> BTO.<br />
N° <strong>de</strong><br />
l’échantillon<br />
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11<br />
εr 62 61 50 83 78 70 75 77 86 122 66<br />
2.3.1. 1 ère étu<strong>de</strong> : prise <strong>en</strong> compte <strong>de</strong> tous les paramètres<br />
Dans un premier temps, nous avons effectué une analyse <strong>de</strong>s résultats avec le logiciel <strong>en</strong><br />
pr<strong>en</strong>ant <strong>en</strong> compte tous les paramètres définis précé<strong>de</strong>mm<strong>en</strong>t, soit sept paramètres.<br />
Pour déterminer la loi donnant la constante diélectrique <strong>en</strong> fonction <strong>de</strong> ces facteurs, le logiciel<br />
doit déterminer huit constantes si on suppose un modèle linéaire sans interaction <strong>de</strong> la forme<br />
suivante :<br />
εr = a0 + a1.T + a2.VIAD + a3.IIAD + a4.VCP + a5.ICP + a6.DO2 +a7.Ep Equation 3-10<br />
Où les ai sont les coeffici<strong>en</strong>ts du modèle, T, VIAD, IIAD, VCP, ICP, DO2 et Ep sont les variables<br />
réduites associées respectivem<strong>en</strong>t <strong>à</strong> la température, la t<strong>en</strong>sion <strong>de</strong> faisceau et le courant d’ions<br />
du canon d’assistance, la t<strong>en</strong>sion <strong>de</strong> faisceau et le courant d’ions du canon principal, le débit<br />
d’oxygène et l’épaisseur du dépôt.<br />
Les résultats obt<strong>en</strong>us pour les expéri<strong>en</strong>ces <strong>de</strong> reproductibilité qui répèt<strong>en</strong>t trois fois les<br />
conditions expérim<strong>en</strong>tales situées au c<strong>en</strong>tre du domaine d’étu<strong>de</strong> permett<strong>en</strong>t <strong>de</strong> déterminer un<br />
écart-type, σmesure, sur les valeurs <strong>de</strong> la constante diélectrique mesurées. Le calcul donne<br />
σmesure = 6,48.<br />
Le principe du plan d’expéri<strong>en</strong>ces est <strong>de</strong> supposer que les résultats obt<strong>en</strong>us pour chacune <strong>de</strong>s<br />
conditions du plan suiv<strong>en</strong>t une loi normale dont l’écart-type peut être estimé par σmesure. Cet<br />
écart-type est mesuré <strong>à</strong> partir <strong>de</strong> trois résultats, il a donc 3-1=2 <strong>de</strong>grés <strong>de</strong> liberté.<br />
Nous voulons déterminer huit coeffici<strong>en</strong>ts avec huit expéri<strong>en</strong>ces : le plan n’est donc pas<br />
redondant. Il va donner une loi <strong>de</strong> variation <strong>de</strong> la constante diélectrique qui passe exactem<strong>en</strong>t<br />
par les points expérim<strong>en</strong>taux. L’erreur ei <strong>en</strong>tre la valeur expérim<strong>en</strong>tale et la valeur estimée est<br />
donc nulle pour chaque condition i du plan. La fiabilité <strong>de</strong>s résultats obt<strong>en</strong>us sera donc<br />
inconnue. On va, dans un premier temps, faire une première détermination <strong>de</strong>s paramètres<br />
prédominants puis éliminer les paramètres négligeables. Cette technique permet d’augm<strong>en</strong>ter<br />
le nombre <strong>de</strong> <strong>de</strong>grés <strong>de</strong> liberté du plan et ainsi <strong>de</strong> vérifier la fiabilité du modèle.<br />
104
Change language