Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Chapitre 3 : Etude de capacités MIM à base de STO et BTO
constante diélectrique
120
100
80
60
40
1
2
7
20
0
12
13
0 100 200 300 400 500 600 700
Trecuit (°C)
Figure 3-13 : Evolution de la constante diélectrique des expériences de reproductibilité du STO en
fonction de la température de recuit
Les échantillons n°1, 2, 7, 12 et 13 permettent de vérifier la reproductibilité des dépôts. En
effet, l’évolution de la constante diélectrique en fonction de la température de recuit est
similaire pour ces cinq échantillons réalisés dans les mêmes conditions. Ils présentent la
même température de transition faible/forte constante diélectrique et la constante diélectrique
maximale varie peu d’un échantillon à l’autre (89 < εr < 97 pour un recuit à 600°C).
La Figure 3-14 présente l’évolution des pertes diélectriques (tan δ) en fonction de la
température de recuit pour les expériences du plan ainsi que pour les échantillons de
reproductibilité.
Les pertes diélectriques restent faibles (