Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Chapitre 4 : Lien entre structure cristallographique et propriétés électriques
1.2.4. Analyse des échantillons amorphes
Nous avons étudié les échantillons présentant une faible constante diélectrique pour voir s’il
existe une différence de structure du STO selon sa température de dépôt et/ou une évolution
de la structure selon la température de recuit qui pourrait expliquer le décalage de la transition
vers les températures plus élevées lorsque la température de dépôt augmente.
Cette analyse indique qu’ils sont tous amorphes et ce, même juste avant la transition de la
constante diélectrique. Cela confirme ainsi les résultats obtenus en diffraction X.
La Figure 4-5 montre que les spectres d’absorption du Sr des deux échantillons élaborés à des
températures différentes et non recuits sont très semblables : l’environnement du Sr dans les
deux dépôts (nature chimique et distance des premiers voisins) est sensiblement le même et
sera détaillé dans ce qui suit.
Figure 4-5 : Spectres d’absorption du Sr en fonction de l’énergie des photons X incidents pour les
échantillons non recuits
Toutefois il existe des différences entre les échantillons. La Figure 4-6 montre le spectre
EXAFS normalisé « brut » représentant la fonction d’interférence des quatre échantillons de
STO présentant une constante diélectrique peu élevée, au seuil du Sr et la Figure 4-7
représente la fonction de répartition radiale extraite de ce signal. Le pic situé aux alentours de
2 Å est la signature des atomes premiers voisins du Sr.
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