Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Chapitre 3 : Etude de capacités MIM à base de STO et BTO
Tableau 3-7 : Dernières températures de recuit avant l’augmentation de la constante diélectrique.
N° de
l’échantillon
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11
T transition (°C) 150 150 150 300 300 529 300 300 300 400 300
2.4.1. 1 ère étude : sélection des paramètres
On observe que la température de transition est égale à 300°C pour les trois expériences de
reproductibilité. Ainsi l’écart-type de mesure, σmesure, est nul. De plus si on prend en compte
tous les paramètres, soit sept paramètres, il faut déterminer huit coefficients avec huit
expériences. Le logiciel va alors nous donner une loi de variation de la température de
transition qui passe exactement par les points expérimentaux. Ainsi, comme on l’a vu dans
l’étude précédente, l’analyse ne va pas permettre de donner d’information sur l’influence des
différents paramètres.
On va donc dans un premier temps éliminer un des paramètres pour que le plan devienne
redondant. Cela va nous permette de calculer une erreur ei non nulle pour chacune des
conditions i du plan et d’obtenir un écart-type résiduel, σrésiduel, avec un nombre de degré de
liberté non nul.
Nous choisissons arbitrairement d’éliminer le taux d’oxygène injecté dans le bâti.
Pour déterminer la loi donnant la température de transition Ttransition en fonction des six
paramètres retenus, le logiciel doit déterminer sept constantes en supposant le modèle linéaire
sans interaction :
Ttransition = a0 + a1.T + a2.VIAD + a3.IIAD + a4.VCP + a5.ICP + a6.Ep Équation 3-14
Les facteurs dont la contribution est la plus importante sont l’épaisseur de BTO et le courant
d’ions du canon principal. Les contributions de la température de dépôt ainsi que celle du
courant d’ions du canon d’assistance sont également à prendre en compte. Les tensions du
canon principal et du canon d’assistance ont, quant à elles, une contribution négligeable. Dans
le domaine d’étude, on supposera donc que ces paramètres n’ont pas d’influence sur la
température de transition faible/forte constante diélectrique.
Après élimination des tensions des canons principal et d’assistance on peut reprendre l’étude
en incluant le débit d’oxygène.
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