Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Chapitre 2 : Elaboration de films minces de STO et BTO
2.2.4. Autres applications
Ces matériaux sont également utilisés dans :
• Les composants optoélectroniques [34] tels que des modulateurs rapides (> 20 GHz),
des dispositifs de filtres couleurs, des écrans, des systèmes de stockage d’images ou des
commutateurs optiques. Pour ses applications il faut déposer des films épitaxiés de très bonne
qualité pour diminuer les pertes optiques,
• Les détecteurs pyroélectriques [35] : les propriétés pyroélectriques particulières des
composés ferroélectriques peuvent être utilisées pour la détection thermique ou l’imagerie
(IR). Les détecteurs infrarouges pyroélectriques sont sensibles aux variations de température
produites par le rayonnement infrarouge. Ils sont utilisés notamment dans la détection
d’intrusion dans les locaux.
• Les actionneurs piézoélectriques [36] : les excellentes propriétés piézoélectriques des
matériaux ferroélectriques en font des matériaux très utilisés dans les MEMS
(MicroElectroMechnical Systems), domaine d’application en plein essor actuellement.
2.3. Etat de l’art des MIM STO et BTO
De nombreuses études ont été menées sur l’intégration de STO et BTO en structure MIM.
De nombreux procédés de dépôt ont été testés pour ces deux matériaux. On retrouve des
méthodes de dépôt physique (pulvérisation cathodique (PVD), ablation laser (PLD),
pulvérisation par faisceau d’ions (IBS)) et des méthodes par voie chimique (sol-gel,
MOCVD).
Le Tableau 2-2 et le Tableau 2-3 présentent quelques références concernant respectivement le
STO et le BTO en indiquant la technique de dépôt, l’empilement réalisé, la température du
procédé (au cours du dépôt et/ou lors du recuit) (paramètre important en vue de l’intégration
Above IC) ainsi que la valeur de constante diélectrique et des informations sur les pertes.
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