Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Chapitre 4 : Lien entre structure cristallographique et propriétés électriques
Dans le cas du dépôt n°1, les échantillons non recuit et recuit à 300°C sont amorphes. Les
spectres ne laissent apparaître que les pics du Pt et du Si sous-jacents.
Sur le spectre de l’échantillon recuit à 312°C, en cours de transition, on commence à entrevoir
des pics caractéristiques du STO dans sa phase pérovskite(STO110, STO211).
Les deux échantillons recuits à 321°C et 450°C sont, quant à eux, cristallisés dans la phase
pérovskite. Les pics de diffraction sont plus intenses pour l’échantillon recuit à plus haute
température. Ces échantillons ne semblent pas présenter d’orientation préférentielle.
Log (Counts)
1e7
1e6
1e5
1e4
1000
100
10
STO 100
P37 recuit 555°C
P37 recuit 450°C
P37 recuit 375°C
P37 non recuit
STO 110
Si
Pt + STO 111
Pt + STO 200
STO 211
11 20 30 40 50 60 70 80 90 100
2-Theta - Scale
Si
Si 400
Pt + STO 311
STO 310
Pt + STO 222
STO 321
Figure 4-3 : Spectres de diffraction des échantillons de STO déposé à 150°C (dépôt n°2) pour différentes
températures de recuit.
En ce qui concerne le dépôt n°2 réalisé à 150°C, les échantillons avant transition (non recuit
et recuit à 375°C) sont amorphes alors que les échantillons recuits à plus haute température,
après la transition, sont cristallisés dans la phase pérovskite.
Lorsque l’on compare les échantillons cristallisés, il ne semble pas y avoir de différence de
structure : le STO est, pour tous ces échantillons, dans la phase pérovskite, seule l’intensité
des pics augmente pour les températures de recuit les plus élevées démontrant une meilleure
cristallinité des couches.
141