Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Chapitre 6 : Capacités MIM STO/BTO
Figure 6-17 : Image en fond clair de l’empilement – Epaisseurs des différentes couches.
On observe sur la Figure 6-18 le contraste en composition (Ba et Sr) de l’échantillon. Il s’agit
de la superposition de deux images concernant chacune le Sr et le Ba.
Figure 6-18 : Cartographie de composition chimique avec Ba (rouge) et Sr (vert) - Le Pt provenant de la
préparation des échantillons pour l’analyse apparaît également en vert.
BTO
STO
BTO
STO
Interface
Pt
230