Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Chapitre 4 : Lien entre structure cristallographique et propriétés électriques
Figure 4-6 : Spectres EXAFS normalisés « brut » au seuil K du Sr pour les quatre échantillons de STO
présentant une constante diélectrique faible.
Figure 4-7 : Transformée de Fourier des spectres EXAFS des quatre échantillons de STO présentant une
constante diélectrique faible.
- Tamb non recuit
- Tamb recuit 300°C
- 150°C non recuit
- 150°C recuit 375°C
- Tamb non recuit
- Tamb recuit 300°C
- 150°C non recuit
- 150°C recuit 375°C
Il est alors possible d’analyser uniquement cette contribution en procédant à un filtrage (de la
façon décrite au §1.2.3). Le spectre filtré peut être comparé à celui calculé à partir de
modèles. Un exemple de cette analyse est présenté en Figure 4-8 où la courbe expérimentale
du dépôt à température ambiante non recuit est simulée entre 1,2 et 3,2 Å.
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