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Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

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tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007<br />

Annexes<br />

Montage <strong>de</strong> Bragg-Br<strong>en</strong>tano<br />

Raies <strong>de</strong> diffraction très fines<br />

et int<strong>en</strong>ses<br />

Montage <strong>à</strong> focalisation<br />

F 1<br />

Source S Filtre Kβ<br />

C<br />

Cercle du<br />

diffractomètre<br />

Cercle <strong>de</strong><br />

focalisation<br />

F2<br />

échantillon<br />

Figure A7-2 : Montage <strong>de</strong> Bragg – Br<strong>en</strong>tano <strong>à</strong> focalisation.<br />

F 3<br />

F 4<br />

θ<br />

θ<br />

détecteur<br />

On se place <strong>en</strong> position <strong>de</strong> Bragg pour un pic donné hkl, sur lequel on est sûr que seul<br />

diffracte le matériau intéressant (exemple : att<strong>en</strong>tion <strong>à</strong> la superposition du STO et du Pt pour<br />

2θ > 40°). On verra donc les plans hkl parallèles <strong>à</strong> la surface. On notera qu’il est possible<br />

d’observer <strong>de</strong>s plans autres que parallèles <strong>à</strong> la surface <strong>en</strong> conservant le même angle θ mais <strong>en</strong><br />

modifiant l’angle 2θ (comme pour les rayons X rasants par exemple). Les conditions <strong>de</strong><br />

Bragg sont donc valables pour <strong>de</strong>s plans non parallèles <strong>à</strong> la surface.<br />

Une fois l’angle θ fixé, on fait un balayage avec le détecteur (angle 2θ) autour <strong>de</strong> la position<br />

<strong>de</strong> Bragg. Les f<strong>en</strong>tes fines ajoutées permett<strong>en</strong>t donc d’observer avec plus <strong>de</strong> précision la<br />

contribution <strong>de</strong> chaque distance interréticulaire (qui varie avec les contraintes internes et la<br />

taille <strong>de</strong>s cristallites) correspondant <strong>à</strong> une famille <strong>de</strong> plans.<br />

Dans l’exploitation <strong>de</strong>s résultats, on <strong>en</strong>lève la contribution <strong>de</strong> la raie Kα2 qui est toujours<br />

prés<strong>en</strong>te. On la voit bi<strong>en</strong> lorsque les raies sont très fines. On <strong>en</strong>lève égalem<strong>en</strong>t la contribution<br />

expérim<strong>en</strong>tale due <strong>à</strong> l’instrum<strong>en</strong>t (<strong>de</strong> l’ordre <strong>de</strong> quelques c<strong>en</strong>tièmes <strong>de</strong> <strong>de</strong>grés). Les formules<br />

<strong>de</strong> calcul sont données sur la Figure A7-3.<br />

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