Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Chapitre 6 : Capacités MIM STO/BTO
Les images MET, avec ou sans filtrage d’énergie, en haute résolution ainsi que les analyses de
micro-diffraction et les analyses EELS ont été réalisées par Roland Pantel à l’aide du
microscope TECNAI02 du laboratoire de caractérisation de STMicroelectronics à Crolles.
L’observation de colonnes atomiques en transmission nécessite un échantillon extrêmement
fin. Dans le cas de multicouches, l’analyse des empilements atomiques demande une étude en
coupe. L’échantillon doit donc être préparé avant l’analyse. Cette préparation est délicate et
décisive pour l’obtention d’images de bonne qualité. Pour cela des lames minces ont été
élaborées tout d’abord par amincissement mécanique puis par amincissement ionique (FIB
pour Focused Ion Beam).
4.2. Echantillon amorphe
Une analyse MET a été effectuée sur le multicouche (STO/BTO)2 non recuit, donc amorphe.
La Figure 6-15 présente une image en fond clair de l’empilement.
La texture de l’empilement est bien amorphe, comme attendue et confirmée par les clichés de
micro-diffraction (Figure 6-16) présentant des anneaux diffus caractéristiques d’un matériau
amorphe.
Cavités de faible densité
Figure 6-15 : Image MET en champ clair du multicouche (STO/BTO)2
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