Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...
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tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007<br />
Chapitre 6 : Capacités MIM STO/BTO<br />
Notons que le Pt issu <strong>de</strong> la préparation <strong>de</strong>s échantillons apparaît <strong>en</strong> vert comme le Sr. Ceci<br />
vi<strong>en</strong>t du fait que l’image <strong>de</strong> contraste du Sr est obt<strong>en</strong>u <strong>à</strong> partir d’une analyse <strong>de</strong> filtrage <strong>en</strong><br />
énergie <strong>à</strong> 400 eV qui permet <strong>de</strong> faire ressortir <strong>de</strong>s élém<strong>en</strong>ts <strong>à</strong> une énergie donnée (Sr, Pt ainsi<br />
que Si ressort<strong>en</strong>t <strong>à</strong> 400 eV) contrairem<strong>en</strong>t <strong>à</strong> l’image du Ba obt<strong>en</strong>ue par analyse EELS car le<br />
seuil EELS du Sr <strong>à</strong> 1940 eV est trop bruité.<br />
On ne voit pas d’interdiffusion <strong>en</strong>tre les <strong>couches</strong>, ce qui confirme les analyses SIMS.<br />
4.3. Echantillons cristallisés<br />
4.3.1. Allure générale<br />
La Figure 6-19 prés<strong>en</strong>te une image MET <strong>en</strong> fond clair <strong>de</strong> l’empilem<strong>en</strong>t<br />
(STO/BTO)2/Pt/TiO2/SiO2/Si. Les différ<strong>en</strong>tes <strong>couches</strong> sembl<strong>en</strong>t rugueuses. On observe<br />
égalem<strong>en</strong>t <strong>de</strong>s variations d’int<strong>en</strong>sité dans les <strong>couches</strong> <strong>de</strong> STO et BTO pouvant correspondre <strong>à</strong><br />
<strong>de</strong>s cavités <strong>de</strong> différ<strong>en</strong>tes tailles : gran<strong>de</strong>s dans le BTO et petites mais <strong>en</strong> plus grand nombre<br />
dans le STO. Ces cavités peuv<strong>en</strong>t être néfastes pour la constante diélectrique et expliqu<strong>en</strong>t<br />
probablem<strong>en</strong>t <strong>en</strong> partie les faibles valeurs observées.<br />
Figure 6-19 : Observation MET <strong>en</strong> champ clair <strong>de</strong> l’empilem<strong>en</strong>t (STO/BTO)2/Pt/TiO2/SiO2/Si.<br />
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