Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...
Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...
Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...
You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007<br />
Chapitre 3 : <strong>Etu<strong>de</strong></strong> <strong>de</strong> <strong>capacités</strong> MIM <strong>à</strong> <strong>base</strong> <strong>de</strong> STO et BTO<br />
contre dans le cas du BTO, <strong>de</strong>s analyses RBS effectuées sur <strong>de</strong>s dépôts sans assistance ont<br />
prés<strong>en</strong>té <strong>de</strong>s écarts <strong>à</strong> la stœchiométrie. Pour le BTO, le canon d’assistance a donc été utilisé<br />
pour repulvériser les <strong>couches</strong> et <strong>en</strong> changer leur composition.<br />
L’analyse du STO montre la prés<strong>en</strong>ce <strong>de</strong> Ta (0,05%) et <strong>de</strong> Xe (0,6%) dans la couche. Ceci est<br />
dû <strong>à</strong> l’élaboration <strong>de</strong>s <strong>couches</strong> : le Ta provi<strong>en</strong>t <strong>de</strong>s filam<strong>en</strong>ts utilisés pour générer les ions et le<br />
Xe est le gaz utilisé pour pulvériser les cibles <strong>de</strong> STO et BTO.<br />
Dans le cas du BTO, les pics du Ta et du Xe se convolu<strong>en</strong>t avec celui du Ba, c’est pour cela<br />
qu’on ne les observe pas même s’ils sont aussi très probablem<strong>en</strong>t prés<strong>en</strong>ts dans les <strong>couches</strong>.<br />
1.2.2. Définition <strong>de</strong>s domaines d’étu<strong>de</strong><br />
Une fois les paramètres déterminés pour chacun <strong>de</strong>s matériaux, il faut définir le domaine<br />
d’étu<strong>de</strong> <strong>de</strong> chacun. Pour cela, <strong>de</strong>s tests réalisés au préalable nous ont permis <strong>de</strong> déterminer les<br />
bornes <strong>de</strong>s domaines du plan d’expéri<strong>en</strong>ces compatibles avec un bon fonctionnem<strong>en</strong>t du bâti.<br />
En effet, le plan impose <strong>de</strong>s configurations d’utilisation <strong>de</strong> l’équipem<strong>en</strong>t <strong>de</strong> dépôt peu<br />
courantes. Il convi<strong>en</strong>t <strong>de</strong> vérifier avant <strong>de</strong> lancer le plan d’expéri<strong>en</strong>ces que <strong>de</strong> telles<br />
configurations sont compatibles avec le fonctionnem<strong>en</strong>t <strong>de</strong> l’appareil.<br />
Il faut <strong>en</strong> particulier vérifier la stabilité <strong>de</strong>s faisceaux plasma, ainsi que l’abs<strong>en</strong>ce d’arcs<br />
électriques sur les grilles <strong>de</strong>s canons <strong>à</strong> ions.<br />
De plus, la t<strong>en</strong>ue dans le temps <strong>de</strong>s filam<strong>en</strong>ts <strong>de</strong>s canons <strong>à</strong> ions doit aussi être prise <strong>en</strong><br />
compte : il faut s’assurer que les filam<strong>en</strong>ts pourront supporter les courants d’ions, les t<strong>en</strong>sions<br />
<strong>de</strong> faisceaux et le débit d’oxygène (qui augm<strong>en</strong>te la vitesse <strong>de</strong> combustion <strong>de</strong>s filam<strong>en</strong>ts)<br />
p<strong>en</strong>dant toute la durée d’un dépôt, sans interruption.<br />
Enfin, le courant d’accélération qui traverse la grille ne doit pas dépasser 5 mA : une valeur<br />
plus élevée traduit une défocalisation du faisceau, on risque alors <strong>de</strong> pulvériser les grilles du<br />
canon, ce qui provoquerait, outre une usure précoce du bâti, une contamination <strong>de</strong> l’<strong>en</strong>ceinte<br />
et <strong>de</strong> la cible par le carbone <strong>de</strong>s grilles.<br />
Les valeurs limites <strong>de</strong>s paramètres utilisés dans chacun <strong>de</strong>s plans sont résumées dans le<br />
Tableau 3-1. Ces valeurs sont différ<strong>en</strong>tes pour STO et BTO car dans le cas du BTO, les<br />
canons <strong>à</strong> ions interagiss<strong>en</strong>t et il n’est pas possible <strong>de</strong> travailler dans les mêmes conditions que<br />
pour le STO sans obt<strong>en</strong>ir d’instabilité <strong>de</strong> faisceau.<br />
89